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白光干涉儀鏡頭原理解析

更新時(shí)間:2024-10-08      點(diǎn)擊次數(shù):428

一、白光干涉儀的基本構(gòu)造

白光干涉儀是利用干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量物體形貌或薄膜厚度的一種儀器。其最基本的構(gòu)造包括:光源、分束器、反射鏡、透鏡和干涉儀。

其中,光源可以是白光或單色光,分束器則將入射光分為兩束,不同的反射鏡和透鏡則用于讓兩束光分別走不同的路徑,以產(chǎn)生干涉圖樣。而干涉儀的作用則是用于觀察和測(cè)量干涉圖樣,進(jìn)而獲得被測(cè)物品的相關(guān)信息。

二、白光干涉儀鏡頭的作用機(jī)制

白光干涉儀鏡頭是白光干涉儀中最為關(guān)鍵的組成部分之一。其主要作用是將入射光分為兩束,分別通過(guò)不同的反射鏡和透鏡,并將這兩束光重新匯聚成一束光,以產(chǎn)生干涉圖樣。

具體地說(shuō),白光經(jīng)過(guò)分束器分為兩束光,分別被反射鏡反射后到達(dá)透鏡,經(jīng)過(guò)透鏡聚焦后形成兩個(gè)光斑,然后在焦點(diǎn)處形成一對(duì)同心圓環(huán),兩個(gè)圓環(huán)間的距離即為相鄰兩條等厚線之間的距離。

對(duì)于透鏡的選擇,由于白光干涉會(huì)造成各種顏色的光波干涉疊加,形成不同顏色的環(huán),因此需要使用分光棱鏡或彩色濾光片等方法來(lái)消除顏色干涉,才能得到清晰的干涉圖。

三、白光干涉儀鏡頭的優(yōu)缺點(diǎn)

白光干涉儀鏡頭的優(yōu)點(diǎn)在于其精度高、測(cè)量范圍寬、可以同時(shí)測(cè)量物體形狀和厚度等特點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于各領(lǐng)域中的測(cè)試、測(cè)量、制造等方面。

但是,白光干涉儀方法也存在其不足之處,由于白光干涉儀需要消除各種顏色的光波干涉疊加,因此在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中需要對(duì)光峰進(jìn)行細(xì)致的調(diào)整,這對(duì)操作者的技能要求較高。

【結(jié)論】

白光干涉儀鏡頭是白光干涉儀的重要組成部分之一,其作用是將入射光經(jīng)過(guò)反射鏡和透鏡后匯聚成一束光,形成干涉圖樣。白光干涉儀方法存在著精度高、測(cè)量范圍寬等優(yōu)點(diǎn),但需要消除顏色干涉,需要對(duì)操作者的技能有較高的要求。


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